PVD和CVD都是表面处理技术,但是它们的原理不同,CVD是化学气相沉积,用含有目标元素的气体,接收能量后通过化学反应,制备固体薄膜,而PVD是物理气相沉积,用物理方式把气化的物质薄膜沉积到目标材料上。在应用上,PVD相比CVD要薄,涂层厚度是10~20μm,而CVD的涂层厚度可以达到1-2mm左右,PVD可以在真空环境下进行,而CVD则需要在惰性气氛下进行。