中国要突破光刻机，需要从以下几个方面着手：
1、加大研发投入：***和企业应加大对光刻机研发的资金支持，吸引更多出色的/卓越的/优异的/杰出的的科研人才投身于光刻机技术的研究。
2、引进国外先进技术：通过与国际顶尖光刻机制造商合作，引进先进的技术和设备，加速国内光刻机技术的提升。
3、培养本土人才：加强高校和科研机构对光刻机技术的专业培养，为国内光刻机产业发展提供源源不断的人才支持。
4、创新产业链布局：优化光刻机产业链布局，提高产业链的自给率，降低对外部供应链的依赖。
5、加强政策扶持：出台一系列鼓励和支持光刻机产业发展的政策，为企业提供良好的发展环境。
6、拓展市场应用：推动光刻机技术在国内外市场的广泛应用，提高国产光刻机的市场占有率。
通过以上措施的综合施行，中国有望在未来逐步突破光刻机技术瓶颈，实现产业的跨越式发展。
