MEMS（Micro Electro Mechanical System）是微电子机械系统的缩写，是一种将微纳制造技术与电子技术、机械技术相结合的新型技术。其基本构成包括微结构件、电路和控制系统，通过微加工技术制造微结构件，通过电子技术和控制系统实现对微结构件的控制和操作。
MEMS（Micro Electro Mechanical System）是微电子机械系统的缩写，是一种将微纳制造技术与电子技术、机械技术相结合的新型技术。其基本构成包括微结构件、电路和控制系统，通过微加工技术制造微结构件，通过电子技术和控制系统实现对微结构件的控制和操作。
