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扫描电镜工作原理

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扫描电镜利用电子束扫描样品表面,探测样品表面的反射电子、二次电子、透射电子等信号,将其转化为电信号,经过电子光学系统成像,得到高分辨率的样品表面形貌和微观结构信息。