mems是什么意思

于 2025-09-07 22:49:22 发布在知识问答浏览6次

MEMS是Micro-Electro-Mechanical Systems(微电子机械系统)的缩写，是一种将微型机械结构、传感器、执行器以及信号处理电路等集成在一个芯片上的技术，MEMS技术的发展可以追溯到20世纪70年代，随着半导体技术和微电子工艺的发展，MEMS已经成为一种非常重要的微机电系统技术。

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