掺杂的方法主要有扩散和离子注入,两种方法在分立器件或集成电路中都有用得到,并且两者可以说是互补的,比如说,扩散可应用于形成深结,离子注入可形成浅结。掺杂法是指多种物质混杂在一起的加工手段,在化工、材料等领域中,掺杂通常是指为了改善某种材料或物质的性能,有目的在这种材料或基质中,掺入少量其他元素或化合物。 掺杂法可以使材料、基质产生特定的电学、磁学和光学等性能,从而使其具有特定的价值或用途。