真空泵按工作原理可分为气体捕集泵和气体传输泵两种类型,气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出,借以达到抽气目的的真空泵,这种泵基本上有两种类型:变容真空泵和动量传输泵。变容真空泵利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵,气体在排出前被压缩,这种泵分为往复式及旋片式两种:往复式真空泵是利用泵腔内活塞做往复式运动,将气体吸入、压缩并排出;旋片式真空泵是利用泵腔内活塞做旋转运动,将气体吸入、压缩并排出。