1、显微镜:用于观察微小物体的尺寸、形状和表面质量等。2、光谱仪:通过分析物质对光的不同吸收特性来确定物质的成分和结构。3、激光测距仪:利用激光束的时间延迟测量目标与光源之间的距离。4、扫描显微镜:能够快速、高精度地扫描并记录样品表面的图像。5、干涉仪:利用光的干涉现象来测量物体的形状、表面粗糙度等参数。6、透射式显微镜:通过物镜透射样品来进行观察和分析。7、坐标测量机:采用激光或机械方式对工件进行精确测量,包括长度、角度、形状等参数。