EDX和EDS都是元素分析仪器，但是它们的原理不同，EDX是通过荧光分析来区分元素的，而EDS则是通过能谱分析来区分元素的，EDS能量色散溥仪，按能量展谱，主要器件为Li-Si半导体探测器，主要利用X光量子的能量不同来进行元素分析。
