光刻机是一种高精度的半导体制造设备，其价格因型号、性能和品牌等因素而异，光刻机的售价可以从几十万元人民币到上千万元人民币不等。
在市场上，常见的光刻机品牌有荷兰ASML、日本尼康、日本住友重工等，ASML是目前市场上较早一家拥有EUV光刻技术的公司，其光刻机价格最高，一台高端EUV光刻机的价格可能达到数亿元人民币，而尼康和住友重工等公司的光刻机则主要采用传统光源的FPD(荧光增白)光刻技术，价格相对较低，一般在几十万元至几百万元人民币之间。
需要注意的是，光刻机的价格不仅与设备本身有关，还与其配套的辅助设备和耗材有关，光刻机需要使用高***的气体、化学品和清洗液等耗材，这些耗材的价格也会直接影响到光刻机的总成本，由于半导体行业的周期性波动和技术进步带来的产能调整，光刻机的价格也会随之波动。
光刻机的价格因多种因素而异，具体价格需要根据所选型号、品牌以及配置等因素来确定，如果您有购买光刻机的意向，建议您咨询相关专业人士或者直接联系设备供应商了解详细信息。
